- 測量范圍：200μm~950μm
- 軸向分辨率：30nm ~120nm
- 線寬：0.96mm~1.92mm
- XYZ軸位移量：0.1μm
- 工件重量：20kg
- XYZ軸定位：1μm
3D表面粗糙度儀TR scan
TR-Scan系列非接觸表面微觀形貌(粗糙度)測量儀，系統(tǒng)采用TRIMOS技術(shù)數(shù)字全息三維顯微測量技術(shù)(DHM)，廣泛應(yīng)用于高精密微觀表面檢查。與傳統(tǒng)非接觸測量技術(shù)相比，測量速度快，對震動不敏感，真正的實現(xiàn)三維形貌納米級測量。模塊化的設(shè)計理念，可配置共焦顯微系統(tǒng), 探針測量系統(tǒng)，傳感器直接更換，方便快捷，極大的滿足了不同的應(yīng)用范圍。即可用于計量單位和材料科學(xué)研發(fā)實驗室，也廣泛應(yīng)用在工業(yè)制造領(lǐng)域：汽車、航天、航空、表面涂層、醫(yī)療產(chǎn)品、微型電機系統(tǒng)、半導(dǎo)體等行業(yè)。
3D表面粗糙度儀TR scan主要特點：
◆ 非接觸式測量原理，無損化檢測粗糙度，微觀形貌
◆ 獨有的數(shù)字全息三維顯微技術(shù)，真正實現(xiàn)3D微觀形貌測量
◆ 創(chuàng)新的成像原理，從原理上保證了對外界振動不敏感，Z軸分辨率高
◆ 激光找正工件并自動定位，測量速度快
◆ 模塊化的設(shè)計概念，多種光學(xué)光路原理，直接更換傳感器，不需要調(diào)整，方便快捷
◆ 可非標(biāo)定制相應(yīng)的測量頭，滿足不同客戶的特殊工件測量要求
◆ 即可選用數(shù)字全息技術(shù)實現(xiàn)高精密表面測量，也可選用色譜共焦技術(shù)實現(xiàn)微觀輪廓測量或選用接觸式探針實 現(xiàn)內(nèi)壁粗糙度測量
◆ 慣用了Trimos“智能用戶界面”的理念，測量過程全 自動，操作簡單
◆ 采用的3D形貌分析軟件，功能強大，即可實現(xiàn)2D輪廓測量，也可進行3D形貌分析
◆ 可進行編程批量檢測并自動生成分析
◆ 完全兼容2D標(biāo)準(zhǔn)，并已內(nèi)置即將制定的3D標(biāo)準(zhǔn)
3D表面粗糙度儀TR scan技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺移動范圍X | 100mm | ||
| 工作臺移動范圍Y | 固定式 | ||
| 工作臺移動范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸位移量 | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位 | 1μm | ||
| XY軸導(dǎo)軌直線度 | 1.5μm | ||
| 工件重量 | 20kg | ||
| 測量原理 | 非接觸式多點譜線共焦傳感器 | ||
| 光源 | 白色LED共軸光，高強光，數(shù)字可控 | ||
| 色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 90nm | 360nm | 1.5μm | |
| 厚度分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
3D表面粗糙度儀TR scan圖片展示
